国产半导体刻蚀装备落地新品，南方基金郑晓曦聚焦科技成长红利

日前，北方华创正式发布全新12英寸气体团簇离子束（GCIB）刻蚀设备Acme Glaion130。作为公司高端装备业务布局的又一标杆新品，设备突破三大核心技术瓶颈，覆盖先进逻辑、存储、封装、硅光芯片及AR/VR应用场景。面对先进制程芯片制造的高精度工艺刚需，行业亟需新一代高端刻蚀设备突破传统工艺局限，本次北方华创全新设备落地，精准填补了先进芯片量产环节的技术空白。

随着集成电路制程向先进节点迈进，芯片特征尺寸进入原子级，对加工精度、表面质量和损伤控制提出严苛要求，而传统化学机械抛光（CMP）、等离子刻蚀存在划痕、亚表面损伤、精度有限等短板，无法满足先进逻辑、存储、硅光芯片等领域的核心需求。在此背景下，离子束刻蚀凭借原子级精度和近零损伤优势，成为后摩尔时代半导体制造的关键工艺装备，国产高端刻蚀设备实现技术攻坚与落地替代，有望持续推动国内半导体设备产业链自主可控进程。

南方基金郑晓曦关注半导体产业链投资机遇。她管理的南方信息创新混合持仓聚焦科技自立自强，其2026年度一季报显示，其前十大重仓股中包括拓荆科技、北方华创、中微公司等拥有领先技术的国产半导体产业链龙头企业。另一只产品南方半导体产业股票则深耕半导体芯片产业，尤其是光刻机模块，其2026年度一季报显示，其前十大重仓股中包括奥普光电、茂莱光学等国产核心企业。

南方信息创新混合（A 类：007490/C 类：007491）

南方半导体产业股票发起（A 类：020553/C 类：020554）